Kính hiển vi đo lường sử dụng để đo không tiếp xúc hình học của các thiết bị điện tử, các chi tiết cơ khí  với bàn đo có độ chính xác cao. Kính hiển vi đo lường laze 3D có khả năng thực hiện các phép đo với độ chính xác cỡ micron. Các ảnh 3D có độ nét cao thu nhận được nhờ sử dụng công nghệ confocal cho phép thực hiện các phép đo độ cao có độ chính xác cao, còn điểm laze có kích thước nhỏ cho phép thực hiện các phép đo độ nhám không tiếp xác với điều kiện bề mặt bất kỳ.